FESTO费斯托在半导体行业中的应用

FESTO费斯托在半导体行业中的应用

FESTO费斯托是一家传承三代的家族企业，经济独立且具有社会责任感

立足传统，着眼**

求知欲、勇气和适应力并非费斯托的新理念， 而是始终流淌在我们的血液里。我们想要打造**地位，以便时刻准备好应对不断变化的市场需求。

应用：控制和调节冷却回路

在半导体制造过程中可靠地调节冷却液

Festo 的解决方案：

阀岛 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介质的气控阀

CPX-MPA 型阀岛如果需要额外的 I/O，例如用来控制电控阀、集成传感器或创建闭环控制回路。此阀岛还可用于执行诊断和远程维护功能。

气控或电控 阀 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介质流量。即使在闭环控制回路中，也能可靠、准确地调节非常冷和/或热的介质。

角行程驱动器 DFPD (4)驱动 球阀 VZBF (5)以及通常用于冷却或温度控制介质的主管线和进/出管线的大流量翻板阀。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型传感器非常准确地测量介质流量以及温度和压力。

1.完全装配并经过测试的即可安装系统解决方案

2.一站式提供您用于调节冷却过程所需的所有元件

3.标准版本的介质阀坚固可靠，或根据安装空间、温度和介质定制的解决方案
冷却应用中的介质分配元件：

阀岛VTUG,带有多针或现场总线接口

紧凑、通用、大流量。优化的阀岛型号，安装在控制柜中，带有气路板，可提高防腐蚀性能。还具有热插拔功能，可在不中断正在进行的过程的情况下更换阀。
摆动驱动器 DFPD

DFPD 系列采用齿轮齿条组合，在整个摆动范围内具有恒定的扭矩特性。摆动驱动器 DFPD 非常适合蝶阀、球阀和风门的自动化。
 球阀VZBF

盱液体和气体介质的双组分不锈钢球阀易于维护。其防火设计符合API 607的要求。
冷却应用中的介质分配阀：

夹管阀VZQA

常闭或常开?将由您选择。使用夹管阀VZQA,您可以更好地控制介质流，如颗粒、含固体物的流体和高粘度或研磨介质。紧凑型阀安装快速，易于清洁并提供模块化配置。

角座阀VZXA

极高的流量、易于清洗和模块化结构。您可以将阀体和驱动器组合在一起，以适应您的应用，并使其更加灵活。

电磁阀VZWF

强制先导式气控阀VZWF使用相对较小的电磁线圈控制大公称通径内的高压，即使在没有压差的封闭质回路中也适用。
半导体行业产品

Festo 为制造电子元件的机器提供了广泛的产品组合：具有集成**功能的阀岛 VTOC 或我们的比例压力阀 VEAA/VEAB（用于对通常控制或调节工艺气体的介质阀进行先导控制）。