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产品名称:
日本小野ONOSOKKI非接触厚度计CL-5610
产品型号:
CL-5610
产品展商:
ONOSOKKI小野测器
简单介绍
豊富な計測項目
厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値・*大値・*小値・*大幅値(*大−*小)の演算値も表示出来ます。
導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定可能
CL-0300 絶縁体測定機能(オプション)により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを計測することができます。
導通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能
サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本体(コモン)間の導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能(オプション)により、その面積を小さくすることができます
日本小野ONOSOKKI非接触厚度计CL-5610的详细介绍
計測対象
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導体、半導体、絶縁体 *1
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センサ入力
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2チャンネル(A、B)静電容量式センサ
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測定項目
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測定対象物の厚さ(導体、半導体、絶縁体<オプションCL-0300>)
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センサ A と測定対象(導体、半導体)とのギャップ(A)
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センサ B と測定対象(導体、半導体)とのギャップ(B)
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A と B との差 (A - B)
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表示モード
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適合センサと表示分解能
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新型 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタとの組合せにより、次の表示分解能となります。
センサタイプ
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測定範囲
(μm)
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分解能(μm)
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標準
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CL-0200高分解能演算機能
オプション装着時
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VE-2011
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20 ~ 200
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0.1
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0.02
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VE-5010
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50 ~ 500
20 ~ 200*1
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0.1
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0.05/0.02*1
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VE-5011
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VE-1020
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100 ~ 1000
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0.1
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0.1
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VE-1021
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VE-1520
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150 ~ 1500
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0.5
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0.2
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VE-3020
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300 ~ 3000
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1
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0.5
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VE-3021
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VE-8020
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800 ~8000
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2
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1
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VE-8021
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*1:VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションにより測定範囲を 20 ~ 200 μm に指定することができます。その際の高分解能オプション装着時の表示分解能は 0.02 μm となります。
※絶縁体計測の場合、測定範囲の約1/3の厚みを計測の目安としてください。
例)VE-1020を使用する場合、絶縁体の厚みは約350μm以下となります。
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精度
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±0.15 %/F.S.(標準)
±0.12 %/F.S.(CL-0200高分解能演算機能オプション装着時<VE-8020/8021を除く>)
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精度保証温度範囲
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23℃ ± 2℃
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表示部
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蛍光表示管
測定結果の表示は1項目(大文字)/2項目(小文字)の切替可能
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パラメータ設定
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測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。
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サンプリング時間
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20 ms
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アベレージング
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移動平均:1 ~ 64 回
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インタフェース
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RS-232C:本器のリモートコントロール、および計測データの取り込みが可能。DPU-414 プリンタ(別売)に印字可能
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BCD 出力機能
(オプション:CL-0120)
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計測結果を 6 桁パラレル BCD で出力
出力方式:オープンコレクタ出力
出力データ:GAP-A、GAP-B、THICK、A-B、DISP2 表示値から選択
データ更新時間:20 ms
接続ケーブル:AA-8207 (3 m、片側オープン)
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リモート機能
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外部から演算機能の開始/停止、厚さ校正などの操作可能
A
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電源供給
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DC 5 ~ 24 Vを入力
・外部から DC 6 V 以上を供給する場合は、抵抗を挿入してください。
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B
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START
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START キーと同じ機能
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C
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STOP
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演算モードを停止します
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D
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PAUSE
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PAUSE キーと同じ機能
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E
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CALIB
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登録されている測定対象物基準片データで校正
・導体測定時のみ有効となります
・測定対象物基準片の厚さは変更できません
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F
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START STATUS
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演算モード及び演算中断モード時にアクティブに切り替わり
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G
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COMMON
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0 V を接続
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H
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+5V出力
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+5 V(MAX:0.4A)を出力
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※適合コネクタ:R03-PB8M(多治見無線製)
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SYNC機能
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CL-5610/CL-5610S を複数台並列同期運転可能
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電源
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AC 100V ~ 240V 50/60 Hz
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使用環境(本体のみ)
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温度:+23 ℃±2 ℃(精度保証範囲)、0 ℃~+40 ℃(使用範囲)
湿度: 20~80 % R.H.(但し結露しないこと)
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外形寸法
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210(W)×99(H)×276(D)mm(CL-5610/5610S 本体)
42.4(W)× 56(H)120(D)mm(CL-5610S用 変換器)
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質量
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約 4.2 kg(CL-5610/5610S 本体)
約 0.6 kg × 2(CL-5610S用 変換器 CL-0420)
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価格
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CL-5610: ¥ 630,000 (税込 ¥ 680,400 )
CL-5610S: ¥ 780,000 (税込 ¥ 842,400 )
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