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日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂[产品打印页面]

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产品名称: 日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂
产品型号: KS-41A
产品展商: 其它品牌

简单介绍
日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂KS-41A苏州设备直销

日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂的详细介绍

KS-41A

潜水颗粒计数器，用于批量采样测量KS-41A

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用于浸没式颗粒传感器和抗蚀剂

光刻胶溶液和SOG中的颗粒可以从0.15μm处测量

  • 可以连接到多点监控系统

规范

光学系统方法 横向散射法
光源 半导体激光器（波长830 nm，额定输出200 mW）
湿接触材料 合成石英，PFA
粒度分类 0.15微米至0.5微米范围内的10步
装运：0.15微米，0.2微米，0.3微米，0.5微米或以上的4步
额定流量 10mL /分钟
*大颗粒浓度 1,200个/ mL（计数损失在5％以内）
电源供应 DC12V（由KE-40B1提供）
尺寸 大约160（H）x 300（W）x 251（D）mm（不包括突起）
重量 约7.5kg
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