如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
杉本KOSAKA 台阶仪薄膜测厚仪
产品型号:
ET200A
产品展商:
KOSAKA小坂
简单介绍
KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机 ET200A
杉本KOSAKA 台阶仪薄膜测厚仪 的详细介绍
台阶仪ET200A产品参数
|
*大试片尺寸
|
Φ200mm×高度50mm
|
|
重现性
|
1σ ≤ 1nm
|
|
测定范围
|
Z:600um X:100mm
|
|
分解能
|
Z:0.1nm X:0.1um
|
|
测定力
|
10UN~500UN (1mg-50mg)
|
|
载物台
|
Φ160mm, 手动360度旋转
|
ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。