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产品名称:
大塚电子Otsuka日本OTSUKA
产品型号:
分光干渉式晶圆膜厚仪 SF-3
产品展商:
OTSUKA大塚电子
简单介绍
分光干渉式晶圆膜厚仪 SF-3 大塚电子Otsuka日本OTSUKA
大塚电子Otsuka日本OTSUKA的详细介绍
分光干渉式晶圆膜厚仪 SF-3 大塚电子Otsuka日本OTSUKA
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详情介绍：
相位差膜・光学材料检查设备 RETS-100
相位差膜・光学材料检查设备 RETS-100对应范围广，从反射型・透过型type的已封入液晶的cell到带有彩色滤光片的空cell都可对应
苏州古尾谷电子有限公司 代理销售 直供各类工业品 联系人陈小姐15250013623
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即时检测
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于减薄制程中的厚度变化
(强酸环境中)
产品特色
非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
采用分光干涉法实现高度检测再现性
可进行高速的即时研磨检测
可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
体积小、省空間、设备安装简易
可对应线上检测的外部信号触发需求
采用*适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得砖利)
可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
规格式样
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SF-3
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膜厚测量范围
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0.1 μm ~ 1600 μm※1
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膜厚精度
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±0.1% 以下
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重复精度
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0.001% 以下
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测量时间
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10msec 以下
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测量光源
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半导体光源
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测量口径
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Φ27μm※2
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WD
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3 mm ~ 200 mm
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测量时间
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10msec 以下
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※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 *小Φ6μm
长期供应 大冢光学OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光学材料检查设备RETS-100 苏州市新杉本电子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 苏州新杉本直销/联系人陈小姐15250013623
1、VR/AR硬件设备：显示设备、输入设备、数据设备、跟踪设备、跟踪系统、定位系统、其它跟踪等；
2、VR/AR技术：立体显示技术、环境建模技术、真实感实时绘制技术、三维虚拟声音技术、视觉实时动态绘制技术、人机自然交互技术、传感技术、物理仿真技术、三维全真技术、实时碰撞检测技术等；
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