即时检测
WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于减薄制程中的厚度变化(强酸环境中)
产品特色
非接触式、非破坏性光学式膜厚检测采用分光干涉法实现高度检测再现性可进行高速的即时研磨检测可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中体积小、省空間、设备安装简易可对应线上检测的外部信号触发需求采用*适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得砖利)可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
规格式样
SF-3
膜厚测量范围
0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度
±0.1% 以下
重复精度
0.001% 以下
测量时间
10msec 以下
测量光源
半导体光源
测量口径
Φ27μm※2
WD
3 mm ~ 200 mm
※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同※2 *小Φ6μm 日本OTSUKA 大塚相位差膜・光学材料检查设备RETS-100 日本OTSUKA大塚相位差膜・光学材料检查设备RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光学材料检查设备RETS-1江苏苏州南京太仓安徽芜湖合肥浙江杭州常州常熟苏州古尾谷有售强势供应有技术支持 详情介绍: 相位差膜・光学材料检查设备 RETS-100 相位差膜・光学材料检查设备 RETS-100对应范围广,从反射型・透过型type的已封入液晶的cell到带有彩色滤光片的空cell都可对应 苏州古尾谷电子有限公司 代理销售 直供各类工业品 联系人陈小姐15250013623 苏州古尾谷电子有限公司代理销售 直供各类工业品 联系人陈小姐15250013623 苏州古尾谷电子有限公司代理销售 直供各类工业品 联系人陈小姐15250013623 产品信息 特 点 • 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 • 有可对应各种尺寸的装置,从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 • **对策和粒子对策,可对应液晶line内的检查设备 测量项目 • 封入cell gap • twist角 • rubbing角 • pretilt角[TN,IPS,FFS,MVA] • 空cell gap • 相位差(复折射相位差)的波长分散 • 光学轴 • 椭圆率/方位角 • 三次元折射率/Rth/β • 分光光谱/色度 测量对象 • 液晶cell - 透过、半透过型液晶cell(TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感应电) - 反射型液晶cell(TFT、TN、IPS、VA) • 光学材料 - 其他(相位差・椭圆・偏光膜、液晶材料) 仕 样 型号 RETS series 样品尺寸 20mm×20mm ~ * cell gap测量范围 0.1μm ~ 数10μm cell gap重复性 ±0.005μm 检出器 多通道分光光度计 测量波长范围 400nm ~ 800nm 光学系 透过用偏光子unit 偏光光学系 消光比 10-5内置Gran-tomson prism(方解石) 自动旋转(角度精度0.1°)、自动装卸机构 测量口径 φ2, φ5, φ10 (mm) 光轴倾斜机构 -20 ~ 45°、-45 ~ 45°等 * 大型玻璃基板也可用(2000mm×2000mm以上) 测量案例 相位差与液晶层间隙值 item_0008retsseries_sub001.jpg 液晶面内分布图 item_0008retsseries_sub002.jpg 长期供应 大冢光学OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光学材料检查设备RETS-100 苏州市新杉本电子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 苏州新杉本直销/联系人陈小姐15250013623 1、VR/AR硬件设备:显示设备、输入设备、数据设备、跟踪设备、跟踪系统、定位系统、其它跟踪等; 2、VR/AR技术:立体显示技术、环境建模技术、真实感实时绘制技术、三维虚拟声音技术、视觉实时动态绘制技术、人机自然交互技术、传感技术、物理仿真技术、三维全真技术、实时碰撞检测技术等; 3、VR/AR系统设备:沉浸式虚拟现实系统、桌面式虚拟现实系统、增强式虚拟现实系统、分布式虚拟现实系统、视觉感知设备、听觉感知设备、触觉反馈设备、信息处理系统等; 4、VR生产设备及零配件:VR系统半导体、显示器、光学镜片、光学模组、微显示器、传感器、显示芯片、显示屏、微电子技术和系统集成等; 5、VR/AR软件:建模工具软件、开发工具软件、web3D技术、cult3D技术、VRML虚拟现实建模语言、全景技术等; 6、VR/AR娱乐:VR乐园、VR旅游、VR/AR驾驶、VR建模游戏、VR射击游戏、数字影院、数字影片、互动多媒体、体感互动、3D投射球幕影院、360全息投影、五维影院、VR影视、VR主题公园、VR赛车、VR跳舞、VR密室逃脱、VR二次元等; 7、VR/AR**科普系列:地震逃生(校园场景/家庭场景)、火灾逃生(校园场景/地铁场景/商场场景/家庭场景/办公室场景/酒店场景/图书馆场景/宿舍场景/校车场景/高层场景)、普法模块(酒驾体验/禁毒体验)、隐患排查(宿舍场景/家庭场景)、应急处理(油锅起火/灶台起火/燃气泄漏/电磁炉起火)、交通**(行人/非机动车/乘坐公交车/交通标识识别)、自热灾害(暴雨避险/泥石流避险/地震台风避险/沙尘暴避险)、大型城市避险(城市废墟场景)、VR党建、VR红色旅游等; 8、VR/AR教育:VR教育研究、VR教学系统、VR幼儿教育、K12教学课程、多人大空间课程、VR超级教室、VR创客体验及解决方案、未来教室解决方案、VR超级实训、VR职业体验解决方案等; 9、VR/AR房产家居:720°全家家装体验、VR全景扫描、VR家装展销系统、VR看房、大数据VR云服务台、导购VR/AR互动、VR+场景电商、三维全景虚拟等; 10、VR/AR应用解决方案:汽车制造、工业水利、装备制造、航空航天、**、医疗健康、能源工程、智慧城市、智慧教育、智慧旅游生活等; 11、智能化视觉设备:3D扫描、空气成像、全息互动设备、雾屏、3D互动投影、人工智能、视觉创意服务、黑科技软件、裸眼3D等; 12、数字展览展示技术:多媒体系统与应用技术、3D全息幻影成像、智能中控系统、滑轨电视、沉浸式影院、液晶拼接屏等; 13、数字内容展示:全息舞台、演唱会解决方案、消防
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