ULVAC愛發科/活塞泵/油旋片式/羅茨式/干式真空泵

株式會社ULVAC以**真空技術為基礎，為先端技術應用及精細加工工藝為追求的研究開發型綜合企業集團。
目前愛發科已成為在中國*大的真空泵及附屬品生產基地，是集真空泵、真空測量及真空非標制品的生產、銷售、售后服務一體的國家高新技術企業。作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum）的真空技術先驅，在能源、電子、光學、未來顯示技術、半導體器件、環保、醫藥、食品、生物工程、家電、自動化生產線等領域廣闊應用，推進發展各種制造與應用設備。

秉承愛發科固有的工匠精神及日本先進的技術和本地的制造優勢，為中國乃至世界的制造業及科技發展做出貢獻。
真空泵

活塞泵特長：

•  小型、大排氣量。

•  氣體接觸部位無油的干式真空泵。

•  內置過熱保護的設計，更**。

•  簡單的構造，使維護更簡單方便。

用途

•  醫療健康（氧濃縮器、生化分析等）。

•  食品、醫藥、化工（真空包裝、氣體置換等）。

•  理化學（溶劑回收、真空干燥等）。

•  分析（電子顯微鏡、質量分析等）。

•  半導體制造（吸附、搬運、安裝等）。

•  環境、節能（燃料電池等）。
GLD系列油旋片式真空泵特長：

GLD系列是一種高性能、高質量、高可靠性的油旋片式真空泵。為了更好地提高散熱效果，GLD系列產品在散熱片部分進行了**設計，從而實現了同類產品無可比擬的高真空。它還具有油位觀察大，便于確認油污染狀況、低震動、低噪音等優點。

用途

冰箱、空調、飲水機自動抽空線、照明理化學實驗用、分析儀器用、激光應用機器、真空排氣設備、電子顯微鏡的輔助泵、半導體制造設備、濺射設備、真空鍍膜設備、真空干燥器
油旋片式真空泵特長：

實現了低噪音

由于徹底的低噪音設計和精密的加工，從而達到了低噪音化。

優良的保養、維修性能

因為能在真空泵與其他設備的連接管道不拆除的情況下，將泵的主體部分取下，所以清洗保養及油封等的更換變的非常容易。為使日常保養工作方便容易，油量確認、油補充、油更換的方向為同一操作方向。

為延長使用油的補充期，采用了1.0～2.5升可變油量方式。

能對應全壓強領域的連續運轉

采用高吸氣壓強也能穩定運轉的強制供油方式。選用油霧過濾器、油回收裝置及耐熱密封件后，就能在大氣壓以下的全壓強范圍內連續運轉。

用途

•  鍍膜、濺射、離子鍍。

•  氣體置換、充填、真空隔熱。

•  真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

•  分析儀器、檢漏裝置。

•  真空包裝、真空吸附。

•  搬運、真空成形、真空鑄造等。
油旋片式真空泵特長：

穩定的排氣特性

低噪音

裝有氣鎮閥

通過打開氣鎮閥，可以將一定量的水蒸氣從排氣口排出，并能凈化油箱內的真空泵油。

維修保養方便

結構簡單，零部件數量少，復原性好，便于保養及檢修，另外大油量型真空泵設有底部放油口和專門加油口，便于定期換油。

大油量型

采用大油箱后，能降低泵的油溫，減少油的氧化和劣化，延長油的使用壽命。另外，對一般的真空裝置來說，能降低吸入泵中的蒸氣及粉塵所引起的油污染的程度，從而減少油更換的頻率，降低使用成本。

用途

•  中央空調、照明、制冷。

•  冷媒灌注機、液晶注入機。

•  真空冷凍干燥、真空包裝。

•  各種真空設備等相關行業。
羅茨式真空泵特長：

潔凈的真空

腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。

能在高吸入壓強下運作

選用比標準電機容量大**的電機，即可實現在高吸入壓強下的運作。

用途

•  照明、電子、光學、半導體。

•  鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。

•  真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。

•  真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。

•  分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備。
干式真空泵特長：

NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

低噪音、低振動

優良的耐腐蝕性

標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

選購件

可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

用途

•  活性氣體（CVD、刻蝕等）。

•  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

•  用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

•  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。

•  冷凍干燥等水蒸氣排氣。
型號：DOP-N181SA ， DOP-N181SB ， DOP-N181SC，DOP-N181SD ，DOP-N181SE ，GLD-N051，GLD-N280，GLD-N137，GLD-N202，VDN301，VDN401，PVD-N1 80，PVD-N180-1，PVD-N360，PVD-N360-1，VSN1501，VSN2401，NB100B，NB300B，NB600B，NB1200B，NRL60A，NRL90A，NRL180A，YM-RL-301A，YM-RL-601A，YM-RL-1201A，YM-RL-302A，YM-RL-602A，YM-RL-1202A
，TMN151，TMN201，TMN401，NOS1801，NOS4201