KOSAKA小坂研究所臺階儀/薄膜測厚儀/微細形狀測定機ET200A / ET10000/ET4000系列
KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細形狀測定機
型號：ET200A
產品概述：
● ET200A臺階儀適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。
● ET200A臺階儀擁有高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結構，安定的測量過程及微小的測定力可對應軟質樣品表面。
● 該型號臺階儀采用直動式檢出器，重現性高。
臺階儀ET200A產品參數
ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細形狀測定機
型號：ET4000系列
產品概述：
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高精度．安定性．機能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
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是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細形狀測定機
型號：ET10000
產品概述：
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對應大面積樣品段差測定的全自動機型。
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機臺尺寸可根據樣品/工件尺寸訂制。
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針對生產線全自動大型工件開發，可搭配機械手臂自動進退樣品