Filmetrics優尼康-3D光學表面輪廓儀的工作原理特點及應用
為什么需要測量表面形貌？
在生產中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響，而且表面三維評定參數由于能**、真實地反映零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較**地評定表面質量的優劣，進而確認加工方法的好壞及設計要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導加工、優化加工工藝以加工出質量的表面，確保零件使用功能的實現。
3D光學表面輪廓儀的測量原理：
光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
3D光學表面輪廓儀的應用
優尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀，適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
產品特點：
光學輪廓儀對各種產品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用：
傳統的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著技術發展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設備加工精度的提高帶動檢測技術的發展，傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
光學輪廓儀應用在光學加工行業時，其3D、高速、精密、可靠和穩定，開始引起加工人士的注意并開始應用。3D光學輪廓儀已在汽車發動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關節制造、量塊標定等方面有大量的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現出新的應用。
優尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀使用了垂直掃描干涉 (VSI) 結合高**度相移干涉 (PSI) 測量。