美國Filmetrics優尼康KLA探針式臺階儀P-7

美國Filmetrics優尼康KLA探針式臺階儀P-7

美國Filmetrics優尼康提供主動式減震臺; Proflm3D光學輪廓儀; Fimetrics膜厚儀; 美國薄膜測厚儀;臺階儀; 輪廓儀等產品
P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了很高的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

產品描述

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了很好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

主要功能

  1.臺階高度：幾納米至1000μm

  2.微力恒力控制：0.03至50mg

  3.樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

  4.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

  5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  6.軟件：簡單易用的軟件界面

  7.生產能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現全自動化
主要應用

      臺階高度：2D和3D臺階高度

      紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

      形狀：2D和3D翹曲和形狀

      應力：2D和3D薄膜應力

      缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業應用

      大學、研究實驗室和研究所

      半導體和化合物半導體

      LED：發光二極管

     太陽能

     MEMS：微機電系統

     數據存儲

     汽車

     醫療設備