TORAY東麗工程株式會社：RF-400-01氧化鋯式氧氣分析儀銷售技術中心
氧化鋯式氧氣分析儀
Model : RF-400-01
氧化鋯式氧氣分析儀 RF-400 秉承了本公司長期在電子業界的良好銷售業績，是專門為半導體及電子行業設備開
發的一款性能優異的氧氣分析儀。
本機器搭載了 TORAY 自主開發的小型氧化鋯式探頭，保證了長時間運轉的可靠性，實現了高精度測量。另外，
還裝備了氧氣探頭保護裝置，實現了從所未有的高耐久性。同時，操作簡單，外形小巧，是各行業設備組裝的*佳
選擇。
TORAY東麗工程株式會社特點
● 采用新型微粒過濾器
面板有油分反應著色功能，壽命判斷一目了然。不需要拆卸設備，即可更過濾器。
● 采用特殊過濾器
可以對應各種可能影響過濾器壽命的物質，提高了探頭的耐耐久性。
● 寬電壓；
AC100V～240V 對應。
● 測定范圍便利
可選設備常用的測定范圍 0-10000ppm（可選擇 0-1%）。
● 采用 RF-400 專用的小型探頭組件
新開發的超小型氧氣探頭組件。
● 認證規格 **:CE、UKCA EN61010-1
EMC: CE EN61326-1
● 環境規格
RoHS 指令 EN63000
測定原理
在氧化鋯式探頭兩面加上電極，在高溫作用下，一面的電極將氧分子離子化，另一面的電極將氧離子轉換氧分子。
這種性質（離子電導）的程度，隨著氧化鋯式探頭兩側氧分壓差距而變化。這時，兩個電極間進行電子交換，離子
電導的程度（氧化鋯式探頭兩端的氧氣分壓差）可以從兩個電極間產生的電量的大小中，通過 Nernst 方程式換算得
出。本公司氧化鋯式探頭是通過 Nernst 方程式得出電量，所以對低濃度也可以**測定。
パーティクル
フィルタ
サンプリング
ポンプ
特殊フィルタ
酸素センサ
サンプル
流量計
流
TORAY東麗工程株式會社技術參數
1.規格
形狀
顯示方式
測定范圍
測定量程
取樣方式
氣體供給量探頭部氣體量
氣體連接口
對比氣體
重量
涂裝色
2.TORAY東麗工程株式會社特性
誤差
空氣點安定性
臺式型 或 面板安裝型
數字4位(濃度顯示)
10ppm~100vo1%02
0-1/10/100/1000/10000ppm
(1)/10/100%
10-m-10atm
10ppm不到為參考值(保證外)
0-10000ppm或0-1%可選擇
內置Pump連續吸引式
拋光黑色
Rc1/4
Rc1/4
Rc1/4
士1%FS (0-10000ppm以上)
士2%FS(0-10000ppm未滿)
(0-10ppm表示以下為保證外)
士1%FS/24h
3.工程參數
測量值輸出
濃度警報輸出
自我診斷功能
試劑氣體條件
電源
安裝條件
選購配件
外部輸出:DC4~20mA:RS-232C
LED表示(上/下限)
接點輸出:2a個別輸出
接點容量:AC3OV
DC30V, 1A
暖機異常，熱電對異常，
機內溫度異常