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產品名稱:
膜片干式真空泵
產品型號:
DAU-20
產品展商:
ULVAC愛發科
簡單介紹
膜片干式真空泵，DAU-20,日本愛發科.膜片干式真空泵，DAU-20,日本愛發科.膜片干式真空泵，DAU-20,日本愛發科.
膜片干式真空泵的詳細介紹
膜片干式真空泵，DAU-20,日本愛發科的產品介紹：
●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
膜片干式真空泵的特長：
●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複數のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
膜片干式真空泵的仕様：
●サーマルプロテクタ付
●到達圧力(KPa):0.2
●吸排気管徑(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●*大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
●到達圧力(Pa):200
●吸気口徑(mm):10
●電源(V):単相100
●寸法(mm):161×327×217
●騒音値(dB):-
●吸排気管徑(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●質量(kg):7.5
用途：
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸著搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環・排気用。
●真空乾燥裝置、凍結真空乾燥裝置。
使用條件：
●使用雰囲気溫度範囲：5℃〜40℃
注意事項：
●吸入気體に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
生産國：日本