除電裝置_[產品打印頁面]

SSD光照射除電裝置ISX-224

產品特點：

• 對于一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰減至1/10,於1S以內的短時間內除電。
• 與瓦斯的流動狀態無關,可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對象物附近存在不穩定的氣流,也不影響除電性能。
• 平常完全不須維護,僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。
• 由于正負離子及電子平均分布于空間內,因此除電對象物的殘留電位可定為0V。
• 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。
• 由于是光照射之離子系統,因此,完全不發塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發生。
• 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產生臭氧(ozone)。
• 構成本系統的機器,僅有軟X線管頭及電力裝置2項,在制造裝置.搬運上易安裝。

除電原理：

產品外觀圖：

產品規格：

產品用途：

• 電子設備的制造、組裝工程。
• 照相機、鐘表、精密機械零件的制造、組裝工程。
• 食品、化妝品容器等的加工、填充工程。
• 紙張、薄膜(film)、薄板(sheet)類的卷、裁切工程。
• 成型機內的除電。
• 防止附著于Parts feeder等振動制品。
• 防止軟片.感光材料之static mark。

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