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產品名稱:
江蘇蘇州 大冢嵌入式膜厚檢測儀 FE-3
產品型號:
產品展商:
其它品牌
簡單介紹
•采用分光干涉法
•搭載高精度FFT膜厚解析系統（磚利 第4834847號）
•使用光學光纖，可靈活構筑測量系統
•可嵌入至各種制造設備。
•實時測量膜厚
•可對應遠程操作、多點測量
•采用壽命長、**性高的白色LED光源
江蘇蘇州 大冢嵌入式膜厚檢測儀 FE-3的詳細介紹
測量項目
·多層膜厚解析
用 途
•光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
•FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）
設備構成
單點型
•半導體晶圓的面內分布測量
•玻璃基板的面內分布測量
多點型
•實時測量
•流向品質管理
•真空室適用
導線型
•實時測量
•寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
