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產品名稱:
自動Mask Aligner UV 光刻機
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簡單介紹
自動Mask Aligner UV 光刻機
自動Mask Aligner UV 光刻機的詳細介紹
本設備把Photo Mask 和Wafer 的對位標記進行對位重合，進行軟接觸曝光的Mask 對位設備。由圖像處理系 統自動進行對位處理。 Cassette 對Cassette 的搬送，Pre-Alignment，Alignment，曝光等一系列的動作自動進行。 可以通過對觸摸屏的操作，輸入曝光所需要的必要條件。 通過搭載的3 臺搬送機械臂，從而實現高速率的生產。 ◆將插入Wafer 的專用Cassette 置入設備后，開始生產。 ① 收納在Loader Cassette 內的Wafer 數量・狀態由傳感器讀取（圖片） ② 由搬送機械臂1 把Wafer 從Loader Cassette 搬送到預對位操作臺上 ③ 根據外形，平邊整合并進行預對位 ④ 由搬送機械臂2 運載wafer 到操作臺上 ⑤ 自動對位 ⑥ 曝光位置管理 ⑦ 曝光 ⑧ Wafer 放入到Unloa