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產品名稱:
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動清潔系統
產品型號:
UPC-12500
產品展商:
HUGLE藤宮
簡單介紹
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動清潔系統UPC-12500
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動清潔系統的詳細介紹
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動清潔系統UPC-12500
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動清潔系統UPC-12500
UPC-12100已經改造為自動清潔300mm晶圓FOUP的模型。
它以高質量，高產量和節能的概念得到了改進，這是現代半導體制造不可或缺的。
它符合CE標準以及SEMI標準。
兼容自動傳輸系統（AMHS），通訊協議與GEM300兼容，適合在線管理。
●高產量●占地面積設計●節能措施●全自動FOUP開閉防止交叉污染●雙流體噴射清洗方式超精密清洗●高效干燥方法●SEMI通訊標準兼容GEM300●交貨記錄高●SEMI S2，符合S8和CE標準
規范