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產品名稱:
流量控制器SEC-Z500X日本掘場HORIBA
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簡單介紹
流量控制器 SEC-Z500X日本掘場HORIBA
流量控制器SEC-Z500X日本掘場HORIBA的詳細介紹
HORIBA銷售量**的數字式氣體質量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現高精度± 1.0% S.P.，快速響應，有效提高良率及簡化備件管理。
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高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現所有量程上的高精度。為了更真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體并創建了針對不同氣體的校正數據，建立標準氣體管理系統，實現真實氣體精度確認。
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高速響應
裝載“變量PID系統”可實現兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基于流量設定點而持續變化。即使滿量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。
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多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規格。更好的是MFC的規格改變不需從設備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費。
制造: HORIBA STEC