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控制器 SEC-400系列HORIBA掘場[產品打印頁面]

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產品名稱: 控制器 SEC-400系列HORIBA掘場
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簡單介紹
控制器 SEC-400系列HORIBA掘場

控制器 SEC-400系列HORIBA掘場的詳細介紹

質量流量控制器 SEC-400系列

  • 概要
  • 規格

概要

它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310,可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號:SEC-405可以進行±0.5%F.S.的流量控制。

特征

  •  可對應±0.5F.S.SEC-405(氣體種類限定)
  • 同系列產品,從0.1CCM200SLM(N2)都可進行流量控制
  • 實現面間距離106mm: SEC-300型式
  •  

制造: HORIBA STEC

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