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產品名稱:
日本SIMCOION空間除靜電器4214
產品型號:
產品展商:
SIMCO-ION美國思美高
簡單介紹
采用單結晶硅電極支持超低粒子。
· 確保一個穩定的長期自身機制的清潔不干凈顆粒釋放到外部
· 采用智能控制電路，不需要任何調整
· 離子一代不斷監測傳感器的內部器官，取得了一定的電離
· 內置的集成電源控制器的設計緊湊
· 在低流量，高電壓自動關機功能保護產品
· *適合超低粒子半導體制造工藝的**
· 24V直流驅動器
日本SIMCOION空間除靜電器4214的詳細介紹
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輸入電壓
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24V DC + / -5％6W典型。
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離子平衡
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<+ /-25V無40LPM距離150毫米管道連接
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放電時間
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<10秒，無管道連接40LPM距離150毫米
+ /-1KV→/ - 100V充電平板顯示器
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離子生成方法
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高頻交流電暈放電法
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衛生
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ISO Class1的，“的ISO Class1的，10nm的延伸”0.1微米*
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電極
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可以更換單晶硅
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支持吹掃氣體
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N2> 99.998％
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流
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40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa）
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*大壓力吹掃
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（流量= 100LPM）207Kpa
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*大的氣體溫度
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60degÇ
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氮氣吹掃連接
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水暖Swagelok3 / 8“OD
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N2連接電離
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1/4NPT內螺紋連接選項或聯合
管道連接Swagelok1 / 2“外徑28-25710-SC
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工作溫度范圍
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15〜60degç
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信號輸出
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打開/關閉，離子產量下降的報警和接觸
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維
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的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米寬長度的
管段不包括在內
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重量
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640克
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外觀
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不銹鋼
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安裝方法
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長度超過10mm M5 Nejineji回少
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