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產品名稱:
日本SSD西西蒂光照射除電裝置揚州供應
產品型號:
ISX-224
產品展商:
SSD西西帝防靜電設備
簡單介紹
簡單介紹
與瓦斯的流動狀態無關,可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對象物附近存在不穩定的氣流,也不影響除電性能。 平常完全不須維護,僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。 由于正負離子及電子平均分布于空間內,因此除電對象物的殘留電位可定為0V。 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。 由于是光照射之離子系統,因此,完全不發塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發生。 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產生臭氧(ozone)。 構成本系統的機器,僅有軟X線管頭及電力裝置2項,在制造裝置.搬運上易安裝
日本SSD西西蒂光照射除電裝置揚州供應的詳細介紹
產品特點:
l 對于一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰減至1/10,於1S以內的短時間內除電。
l 與瓦斯的流動狀態無關,可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對象物附近存在不穩定的氣流,也不影響除電性能。
l 平常完全不須維護,僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。
l 由于正負離子及電子平均分布于空間內,因此除電對象物的殘留電位可定為0V。
l 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。
l 由于是光照射之離子系統,因此,完全不發塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發生。
l 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產生臭氧(ozone)。
l 構成本系統的機器,僅有軟X線管頭及電力裝置2項,在制造裝置.搬運上易安裝。