即時檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于減薄制程中的厚度變化(強酸環境中)
產品特色
非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測采用分光干涉法實現高度檢測再現性可進行高速的即時研磨檢測可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測可對應長工作距離、且容易安裝于產線或者設備中體積小、省空間、設備安裝簡易可對應線上檢測的外部信號觸發需求采用*適合膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得磚利)可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)
規格式樣
SF-3
膜厚測量范圍
0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度
±0.1% 以下
重復精度
0.001% 以下
測量時間
10msec 以下
測量光源
半導體光源
測量口徑
Φ27μm※2
WD
3 mm ~ 200 mm
※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同※2 *小Φ6μm 日本OTSUKA 大塚相位差膜・光學材料檢查設備RETS-100 日本OTSUKA大塚相位差膜・光學材料檢查設備RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光學材料檢查設備RETS-1江蘇蘇州南京太倉安徽蕪湖合肥浙江杭州常州常熟蘇州古尾谷有售強勢供應有技術支持 詳情介紹: 相位差膜・光學材料檢查設備 RETS-100 相位差膜・光學材料檢查設備 RETS-100對應范圍廣,從反射型・透過型type的已封入液晶的cell到帶有彩色濾光片的空cell都可對應 蘇州古尾谷電子有限公司 代理銷售 直供各類工業品 聯系人陳小姐15250013623 蘇州古尾谷電子有限公司代理銷售 直供各類工業品 聯系人陳小姐15250013623 蘇州古尾谷電子有限公司代理銷售 直供各類工業品 聯系人陳小姐15250013623 產品信息 特 點 • 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 • 有可對應各種尺寸的裝置,從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 • **對策和粒子對策,可對應液晶line內的檢查設備 測量項目 • 封入cell gap • twist角 • rubbing角 • pretilt角[TN,IPS,FFS,MVA] • 空cell gap • 相位差(復折射相位差)的波長分散 • 光學軸 • 橢圓率/方位角 • 三次元折射率/Rth/β • 分光光譜/色度 測量對象 • 液晶cell - 透過、半透過型液晶cell(TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感應電) - 反射型液晶cell(TFT、TN、IPS、VA) • 光學材料 - 其他(相位差・橢圓・偏光膜、液晶材料) 仕 樣 型號 RETS series 樣品尺寸 20mm×20mm ~ * cell gap測量范圍 0.1μm ~ 數10μm cell gap重復性 ±0.005μm 檢出器 多通道分光光度計 測量波長范圍 400nm ~ 800nm 光學系 透過用偏光子unit 偏光光學系 消光比 10-5內置Gran-tomson prism(方解石) 自動旋轉(角度精度0.1°)、自動裝卸機構 測量口徑 φ2, φ5, φ10 (mm) 光軸傾斜機構 -20 ~ 45°、-45 ~ 45°等 * 大型玻璃基板也可用(2000mm×2000mm以上) 測量案例 相位差與液晶層間隙值 item_0008retsseries_sub001.jpg 液晶面內分布圖 item_0008retsseries_sub002.jpg 長期供應 大冢光學OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光學材料檢查設備RETS-100 蘇州市新杉本電子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 蘇州新杉本直銷/聯系人陳小姐15250013623 1、VR/AR硬件設備:顯示設備、輸入設備、數據設備、跟蹤設備、跟蹤系統、定位系統、其它跟蹤等; 2、VR/AR技術:立體顯示技術、環境建模技術、真實感實時繪制技術、三維虛擬聲音技術、視覺實時動態繪制技術、人機自然交互技術、傳感技術、物理仿真技術、三維全真技術、實時碰撞檢測技術等; 3、VR/AR系統設備:沉浸式虛擬現實系統、桌面式虛擬現實系統、增強式虛擬現實系統、分布式虛擬現實系統、視覺感知設備、聽覺感知設備、觸覺反饋設備、信息處理系統等; 4、VR生產設備及零配件:VR系統半導體、顯示器、光學鏡片、光學模組、微顯示器、傳感器、顯示芯片、顯示屏、微電子技術和系統集成等; 5、VR/AR軟件:建模工具軟件、開發工具軟件、web3D技術、cult3D技術、VRML虛擬現實建模語言、全景技術等; 6、VR/AR娛樂:VR樂園、VR旅游、VR/AR駕駛、VR建模游戲、VR射擊游戲、數字影院、數字影片、互動多媒體、體感互動、3D投射球幕影院、360全息投影、五維影院、VR影視、VR主題公園、VR賽車、VR跳舞、VR密室逃脫、VR二次元等; 7、VR/AR**科普系列:地震逃生(校園場景/家庭場景)、火災逃生(校園場景/地鐵場景/商場場景/家庭場景/辦公室場景/酒店場景/圖書館場景/宿舍場景/校車場景/高層場景)、普法模塊(酒駕體驗/禁毒體驗)、隱患排查(宿舍場景/家庭場景)、應急處理(油鍋起火/灶臺起火/燃氣泄漏/電磁爐起火)、交通**(行人/非機動車/乘坐公交車/交通標識識別)、自熱災害(暴雨避險/泥石流避險/地震臺風避險/沙塵暴避險)、大型城市避險(城市廢墟場景)、VR黨建、VR紅色旅游等; 8、VR/AR教育:VR教育研究、VR教學系統、VR幼兒教育、K12教學課程、多人大空間課程、VR超級教室、VR創客體驗及解決方案、未來教室解決方案、VR超級實訓、VR職業體驗解決方案等; 9、VR/AR房產家居:720°全家家裝體驗、VR全景掃描、VR家裝展銷系統、VR看房、大數據VR云服務臺、導購VR/AR互動、VR+場景電商、三維全景虛擬等; 10、VR/AR應用解決方案:汽車制造、工業水利、裝備制造、航空航天、**、醫療健康、能源工程、智慧城市、智慧教育、智慧旅游生活等; 11、智能化視覺設備:3D掃描、空氣成像、全息互動設備、霧屏、3D互動投影、人工智能、視覺創意服務、黑科技軟件、裸眼3D等; 12、數字展覽展示技術:多媒體系統與應用技術、3D全息幻影成像、智能中控系統、滑軌電視、沉浸式影院、液晶拼接屏等; 13、數字內容展示:全息舞臺、演唱會解決方案、消防
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