ULVAC爱发科-真空计的基础知识
ULVAC真空計 传感器单体型复合电离真空计
爱发科改善了测定子本身的稳定性，开发了一种电离真空计，可满足对**，稳定真空计的需求。与B-A电离真空计和冷阴极电离真空计相比，即使在恶劣环境下也能减少更换测定子的频率。
一.*近的真空设备内部的环境
OLED､触摸屏等用的ITO膜、从丙烯酸基板释放出的气体
真空腔室加工过程中切削油和清洁液残留物中释放出的气体
真空腔室中的配线，电机释放出的气体
由于有机物等粘附在测定子内部的电极上，电子和离子的流动受到损害，因此压力指示变得异常。
B-A型、冷阴极型电离真空计
油暴露测试摘要和问题
三极管型结构的优越性灵敏度稳定，精度好
通过更换真空计减少停机时间和运行成本
**的压力控制
掌握设备异常
B-A型电离真空计 VS 三极管型电离真空计
由于灵敏度几乎相同，因此假设两者1×10-3Pa的离子电流值为1×10-7A，则离子收集器单位面积的离子电流值如下。
单位面积的离子电流值大意味着与离子收集器碰撞的电离气体分子的数量大。
B-A型受软X射线的影响较小，并且具有较高的离子收集效率，因此即使在低压下也可以测量，
但是由于离子收集效率高，有机物的沉积量要比三极管型大。
ST2的油暴露测试
减少设备停机时间和运行成本
始终**的压力控制
掌握设备异常
Ir/Y2O3灯丝 使用寿命长，更换真空计可减少停机时间和运行成本。
小型金属管球 无需担心安装空间或测定子损坏。
与传统的玻璃管型相比，其内部容积约为1/7，长度约为1/3，因此可以减小安装空间。与传统玻璃管相比，无需担心破损
复合电离真空计型传感器单元
通过连接皮拉尼真空计单元可以减少控制信号。
通过连接可选的皮拉尼真空计单元SPU可以自动控制灯丝
从皮拉尼真空计到电离真空计的指示值可以作为单个信号输出
常规的ISG1可以按原样使用