ULVAC愛發科-真空計的基礎知識
ULVAC真空計 傳感器單體型復合電離真空計
愛發科改善了測定子本身的穩定性，開發了一種電離真空計，可滿足對**，穩定真空計的需求。與B-A電離真空計和冷陰極電離真空計相比，即使在惡劣環境下也能減少更換測定子的頻率。
一.*近的真空設備內部的環境
OLED､觸摸屏等用的ITO膜、從丙烯酸基板釋放出的氣體
真空腔室加工過程中切削油和清潔液殘留物中釋放出的氣體
真空腔室中的配線，電機釋放出的氣體
由于有機物等粘附在測定子內部的電極上，電子和離子的流動受到損害，因此壓力指示變得異常。
B-A型、冷陰極型電離真空計
油暴露測試摘要和問題
三極管型結構的優越性靈敏度穩定，精度好
通過更換真空計減少停機時間和運行成本
**的壓力控制
掌握設備異常
B-A型電離真空計 VS 三極管型電離真空計
由于靈敏度幾乎相同，因此假設兩者1×10-3Pa的離子電流值為1×10-7A，則離子收集器單位面積的離子電流值如下。
單位面積的離子電流值大意味著與離子收集器碰撞的電離氣體分子的數量大。
B-A型受軟X射線的影響較小，并且具有較高的離子收集效率，因此即使在低壓下也可以測量，
但是由于離子收集效率高，有機物的沉積量要比三極管型大。
ST2的油暴露測試
減少設備停機時間和運行成本
始終**的壓力控制
掌握設備異常
Ir/Y2O3燈絲 使用壽命長，更換真空計可減少停機時間和運行成本。
小型金屬管球 無需擔心安裝空間或測定子損壞。
與傳統的玻璃管型相比，其內部容積約為1/7，長度約為1/3，因此可以減小安裝空間。與傳統玻璃管相比，無需擔心破損
復合電離真空計型傳感器單元
通過連接皮拉尼真空計單元可以減少控制信號。
通過連接可選的皮拉尼真空計單元SPU可以自動控制燈絲
從皮拉尼真空計到電離真空計的指示值可以作為單個信號輸出
常規的ISG1可以按原樣使用