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产品名称:
江苏苏州日本分光干渉式晶圆膜厚仪
产品型号:
SF-3
产品展商:
其它品牌
简单介绍
非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
采用分光干涉法实现高度检测再现性
可进行高速的即时研磨检测
可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
体积小、省空間、设备安装简易
可对应线上检测的外部信号触发需求
采用*适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得砖利)
可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
江苏苏州日本分光干渉式晶圆膜厚仪的详细介绍
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SF-3
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膜厚测量范围
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0.1 μm ~ 1600 μm※1
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膜厚精度
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±0.1% 以下
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重复精度
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0.001% 以下
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测量时间
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10msec 以下
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测量光源
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半导体光源
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测量口径
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Φ27μm※2
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WD
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3 mm ~ 200 mm
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测量时间
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10msec 以下
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※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 *小Φ6μm