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產品名稱:
江蘇蘇州日本分光干渉式晶圓膜厚儀
產品型號:
SF-3
產品展商:
其它品牌
簡單介紹
非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測
采用分光干涉法實現高度檢測再現性
可進行高速的即時研磨檢測
可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
可對應長工作距離、且容易安裝于產線或者設備中
體積小、省空間、設備安裝簡易
可對應線上檢測的外部信號觸發需求
采用*適合膜厚檢測的獨自解析演算法。(已取得磚利)
可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)
江蘇蘇州日本分光干渉式晶圓膜厚儀的詳細介紹
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SF-3
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膜厚測量范圍
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0.1 μm ~ 1600 μm※1
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膜厚精度
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±0.1% 以下
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重復精度
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0.001% 以下
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測量時間
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10msec 以下
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測量光源
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半導體光源
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測量口徑
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Φ27μm※2
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WD
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3 mm ~ 200 mm
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測量時間
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10msec 以下
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※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 *小Φ6μm