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产品名称:
日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂
产品型号:
KS-21B
产品展商:
其它品牌
简单介绍
日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂KS-21B 苏州设备直销
日本理音浸没式颗粒传感器和抗蚀剂 的详细介绍
KS-41B
用于浸没式颗粒传感器和抗蚀剂
光刻胶溶液和SOG中的颗粒可以从0.1μm处测量
规范
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光学系统方法
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横向散射法
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光源
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半导体激光泵浦固体激光器（波长532nm，额定输出500mW）
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湿接触材料
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合成石英，PFA
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粒度分类
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0.1微米至0.5微米范围内的10步（对于纯净水等透明液体
，可选0.07微米或以上）装运：0.1微米或更大，0.15微米或更大，0.2微米或更大，0.3微米或更大，0.5微米或更大5个阶段
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额定流量
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5mL /分钟
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*大颗粒浓度
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9,600个/ mL（计数损失在10％以内）
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电源供应
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DC12V（由KE-40B1提供）
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尺寸
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约164（H）x 464（W）x 305（D）mm（不包括突起）
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重量
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约12.5公斤
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