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产品名称:
日立超高分辨场发射扫描显微镜
产品型号:
Regulus系列
产品展商:
HITACHI日本日立
简单介绍
日本日立HITACHI日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
日立超高分辨场发射扫描显微镜的详细介绍
日本日立HITACHI超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 的详细介绍
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沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
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采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的佳性能
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与现有机型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
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采用污染小、高真空样品仓
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运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V
超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV
低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV
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*2
**Regulus8240/8230/8220
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项目
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Regulus 8100
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Regulus 8220
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Regulus 8230
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Regulus 8240
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二次电子分辨率
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0.8 nm
（加速电压15 kV）
1.1 nm
（着陆电压1 kV）*3
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0.7 nm（加速电压 15 kV）
0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3
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着陆电压
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0.1～2 kV
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0.01～20 kV
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放大倍率
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20～1,000,000倍*4
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20～2,000,000倍*4
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样品台
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样品台控制
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3轴马达台（可选5轴马达台）
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5轴马达驱动
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移动范围
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X
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0～50 mm
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0～50 mm
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0～110 mm
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0～110 mm
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Y
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0～50 mm
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0～50 mm
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0～110 mm
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0～80 mm
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R
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360°
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T
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-5～70°
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Z
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1.5～30 mm
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1.5～40 mm
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再现性
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±0.5 µm以下含±0.5 µm
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*3
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减速模式下观察
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*4
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以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率