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產品名稱:
日立超高分辨場發射掃描顯微鏡
產品型號:
Regulus系列
產品展商:
HITACHI日本日立
簡單介紹
日本日立HITACHI日立超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列
日立超高分辨場發射掃描顯微鏡的詳細介紹
日本日立HITACHI超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列 的詳細介紹
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沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
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采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的佳性能
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與現有機型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
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采用污染小、高真空樣品倉
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運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V
超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV
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*2
**Regulus8240/8230/8220
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項目
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Regulus 8100
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Regulus 8220
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Regulus 8230
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Regulus 8240
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二次電子分辨率
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0.8 nm
（加速電壓15 kV）
1.1 nm
（著陸電壓1 kV）*3
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0.7 nm（加速電壓 15 kV）
0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3
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著陸電壓
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0.1～2 kV
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0.01～20 kV
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放大倍率
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20～1,000,000倍*4
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20～2,000,000倍*4
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樣品臺
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樣品臺控制
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3軸馬達臺（可選5軸馬達臺）
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5軸馬達驅動
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移動范圍
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X
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0～50 mm
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0～50 mm
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0～110 mm
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0～110 mm
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Y
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0～50 mm
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0～50 mm
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0～110 mm
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0～80 mm
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R
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360°
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T
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-5～70°
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Z
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1.5～30 mm
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1.5～40 mm
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再現性
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±0.5 µm以下含±0.5 µm
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*3
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減速模式下觀察
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*4
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以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率