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产品名称:
HONDA本多石英振動体型洗浄機 [高周波]
产品型号:
W-357-1MQG-SKC
产品展商:
HONDA本多
简单介绍
概要
特長
晶圆清洗更精细，损伤小
■ 超声波叠加在石英振动体上，对半导体晶圆进行清洗
。零件振动，其加速度会**表面的污垢。
■ 实现对半导体晶片的损伤少的清洁清洗 与
化学品接触的部分使用石英，与使用橡胶材料的设备相比，没有橡胶溶出或磨损，可以进行清洁清洗。
■ 由于具有振荡器冷却功能，通过气体（氮气等）冷却振荡器，可以稳定地连续运行而不会发生频率波动。
此外，通过冷却，温度不会突然变化，使用寿命长。
用途
去除抗蚀剂残留物
磨边和灰化后去除聚合物
栅电极清洗
CMP 后清洗
HONDA本多石英振動体型洗浄機 [高周波]的详细介绍