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產品名稱:
HONDA本多石英振動體型洗浄機 [高周波]
產品型號:
W-357-1MQG-SKC
產品展商:
HONDA本多
簡單介紹
概要
特長
晶圓清洗更精細，損傷小
■ 超聲波疊加在石英振動體上，對半導體晶圓進行清洗
。零件振動，其加速度會**表面的污垢。
■ 實現對半導體晶片的損傷少的清潔清洗 與
化學品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設備相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進行清潔清洗。
■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振蕩器，可以穩定地連續運行而不會發生頻率波動。
此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
用途
去除抗蝕劑殘留物
磨邊和灰化后去除聚合物
柵電極清洗
CMP 后清洗
HONDA本多石英振動體型洗浄機 [高周波]的詳細介紹