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产品名称:
优势代理AMAYA天谷制作所 晶圆设备
产品型号:
AMAX1000S
产品展商:
日本AMAYA天谷制作所
简单介绍
AMAYA株式会社天谷制作所AMAX1000S
常压CVD装置，准备了满足顾客需求的产品阵容。同时，定做也对应。
对应于半导体制造用、太阳能电池制造用等各种用途。从少量生产到大量生产
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各种膜种
采用SiC托盘防止重金属污染，从低温（200℃）到中温（500℃）区域可以广泛成膜
优势代理AMAYA天谷制作所 晶圆设备的详细介绍
日本AMAYA株式会社天谷制作所
连续常压CVD设备，用于批量生产兼容125mm方形和156mm方形的太阳能电池
AMAX1000S
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156 毫米方形 1500 张/小时吞吐量
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采用SiC托盘防止重金属污染的对策，以及通过改善托盘支架防止背面环绕的措施
特征
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可以使用满足太阳能电池生产需求的超批量生产设备运输156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
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我们开发了可实现批量生产的专用分散头，以及实现超高速输送的双臂输送机构。 此外，还增加了灯管加热机构，以实现超高速和晶圆温度均匀性。
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我们开发了一种特殊的晶圆支架，用于高效加热太阳能电池的薄晶圆。
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卸料器部分使用多级Bernui卡盘来分离晶圆和托盘，并且还具有冷却功能。
性能
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均匀的薄膜厚度
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≦±10.0%
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支持的晶圆尺寸
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156毫米方形，125毫米方形
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气体种类
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SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2
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薄膜沉积温度
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~430°C
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生产力
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1500张/小时
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主要规格
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设备尺寸
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1860毫米（宽） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高）
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加热机构
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电阻加热和灯加热
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装载卸载
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装载：卡盘，卸载：伯努利卡盘
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分散头（气体喷嘴）
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A63 长头（标准 3 头）
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