如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱:
AMAYA天谷株式會社12英寸連續常壓CVD設備
產品型號:
AMAX1200
產品展商:
日本AMAYA天谷制作所
簡單介紹
AMAYA株式會社天谷制作所AMAX1200
常壓CVD裝置，準備了滿足顧客需求的產品陣容。同時，定做也對應。
對應于半導體制造用、太陽能電池制造用等各種用途。從少量生產到大量生產
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區域可以廣泛成膜
AMAYA天谷株式會社12英寸連續常壓CVD設備的詳細介紹
日本AMAYA株式會社天谷制作所
12英寸連續常壓CVD設備
AMAX1200
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12 英寸 每小時 51 張的吞吐量
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采用SiC托盤防止重金屬污染的對策
特征
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這是傳統AMAX系列中直徑*大的12英寸晶圓加工設備。
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SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，從優化的A2型分散頭進行表面反應，在低溫和低壓下更有效地產生熱化學反應。 可以獲得優異的膜厚均勻性和雜質濃度均勻性。
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使用SiC托盤很難發生重金屬污染。 此外，可以獲得穩定的工藝性能，而由于熱引起的老化很小。
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標配自動托盤更換功能，實現工人**，縮短維護時間。 此外，自動抬起頭部底座的機構便于清潔。
性能
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均勻的薄膜厚度
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≦±3.0%
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支持的晶圓尺寸
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12寸
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氣體種類
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SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2
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薄膜沉積溫度
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~450°C
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生產力
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51張/小時FOUP兼容標準機
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主要規格
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設備尺寸
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2165毫米（寬） x 4788毫米（深） x 2250毫米（高）
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加熱機構
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電阻加熱
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裝載卸載
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機器人 CtoC 運輸
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分散頭（氣體噴嘴）
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A63 頭（標準 3 頭）
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