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产品名称:
彩色滤光片色度检查机
产品型号:
cp-001
产品展商:
OTSUKA大冢光学
简单介绍
透过率、色度、光学浓度、膜厚、反射率、线宽等测量，完整支援彩色滤光片制程中检测评价。
拥有业界标竿水准的量测稳定性，对应任何世代尺寸的优异光学量测设备。
全自动对焦、全自动画素搜索定位功能，微距光学口径的高精度测量，支援全自动检查。
对应喷墨式涂布(Inkjet Printer)制程的全画素量测
彩色滤光片色度检查机的详细介绍
产品特点
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透过率、色度、光学浓度、膜厚、反射率、线宽等测量，完整支援彩色滤光片制程中检测评价。
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拥有业界标竿水准的量测稳定性，对应任何世代尺寸的优异光学量测设备。
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全自动对焦、全自动画素搜索定位功能，微距光学口径的高精度测量，支援全自动检查。
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对应喷墨式涂布(Inkjet Printer)制程的全画素量测。
量测项目
喷墨式涂布量测(Inkjet Printer)
以下为使用□130*465um与□60*230um两种量测口径，对喷墨式涂布制程所产生的画素色晕现象进行量测。
量测项目
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彩色滤光片量测
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色度量测(穿透率光谱分析)
色度(XYZ、 xy、 Lab、 L*a*b*、 u'v'、 u*v*)
色差、白平衡
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反射率*
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光学浓度(OD)*
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画素线宽(CD)*
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全自动对焦、画素位置搜索 *
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膜厚量测
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多层膜量测、薄膜量测
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波峰-波峰(PP)、波峰-波谷法(PV)、快速傅立叶转换法(FFT)、非线性*小平方法(Curve Fitting)
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Review异物检查
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样品欠陷、凝胶、粉尘附着等异物Review检查 *
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*选配功能
产品规格
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样品对应尺寸*
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50mm×50mm 以上
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检测器
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多通道分光光谱仪、光电子倍增管(选配)
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影像处理
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CCD摄影机、专用萤幕
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全自动对焦、画素位置搜索
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样品台
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全自动或手动XYZ轴量测样品(全自动样品为电控驱动
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