如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
椭圆偏光膜厚量测仪（手动）
产品型号:
cp-002
产品展商:
OTSUKA大冢光学
简单介绍
400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。
自动变更反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
采用正弦杆自动驱动方式，展现量测角度变更时优异的移动精度。
搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。
可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
椭圆偏光膜厚量测仪（手动）的详细介绍
量测项目
产品规格
|
样品对应尺寸
|
100 × 100 mm
|
|
量测方式
|
偏光片元件回转方式
|
|
入射/反射角度范围
|
45 ~ 90°
|
|
入射/反射角度驱动方式
|
反射角度可自动变更
|
|
波长量测范围
|
300 ~ 800 nm
|
|
分光元件
|
Poly-chrometer
|
|
尺寸
|
650(H)× 400(D)× 560(W)mm
|
|
重量
|
约50 kg
|
产品特点
-
400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。
-
自动变更反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
-
采用正弦杆自动驱动方式，展现量测角度变更时优异的移动精度。
-
搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。
-
可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。