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產品名稱:
橢圓偏光膜厚量測儀（手動）
產品型號:
cp-002
產品展商:
OTSUKA大冢光學
簡單介紹
400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速量測橢圓偏光光譜。
自動變更反射量測角度，可得到更詳細的薄膜解析數據。
采用正弦桿自動驅動方式，展現量測角度變更時優異的移動精度。
搭載薄膜分析所需的全角度同時量測功能。
可量測晶圓與金屬表面的光學常數(n:折射率、k:消光系數)。
橢圓偏光膜厚量測儀（手動）的詳細介紹
量測項目
產品規格
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樣品對應尺寸
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100 × 100 mm
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量測方式
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偏光片元件回轉方式
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入射/反射角度范圍
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45 ~ 90°
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入射/反射角度驅動方式
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反射角度可自動變更
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波長量測范圍
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300 ~ 800 nm
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分光元件
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Poly-chrometer
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尺寸
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650(H)× 400(D)× 560(W)mm
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重量
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約50 kg
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產品特點
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400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速量測橢圓偏光光譜。
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自動變更反射量測角度，可得到更詳細的薄膜解析數據。
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采用正弦桿自動驅動方式，展現量測角度變更時優異的移動精度。
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搭載薄膜分析所需的全角度同時量測功能。
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可量測晶圓與金屬表面的光學常數(n:折射率、k:消光系數)。