Shin-Etsu信越聚合物晶圆工厂间运输容器[产品打印页面]

Shin-Etsu信越聚合物晶圆工厂间运输容器

一、基本信息

• 型号：MW150N信越ポリマー株式会社
• 制造商：信越ポリマー株式会社（Shin‑Etsu Polymer / 信越聚合物）信越ポリマー株式会社
• 用途：150mm（6 英寸）半导体晶圆 厂间 / 出货运输容器（FOSB）信越ポリマー株式会社
• 适用晶圆：150mm（6 英寸）硅晶圆信越ポリマー株式会社
• 容量：25 片 / 盒

二、外观与结构

• 型式：前开式密封运输盒（FOSB），半透明硬质塑料信越ポリマー株式会社
• 结构：一体式结构，强度高、密封性好，适配自动化搬运信越ポリマー株式会社
• 材质（高纯度防静电树脂）：
  • 上盖（MW150N‑C1）：透明 PC（聚碳酸酯）
  • 底座 / 框架（MW150N‑A）：PP（聚丙烯）
  • 晶圆承载槽：PP，25 片独立卡槽
  • 密封 / 缓冲件：导电弹性体（ESD Elastomer）

三、核心特点

1. 高洁净、低污染
   • 高纯度医用级树脂，低粒子、低 VOC、低离子析出，满足半导体严苛洁净度要求。
2. 防静电（ESD）保护
   • 整体导电 / 防静电配方，表面电阻 10⁶–10¹¹ Ω，防止静电击穿晶圆电路。
3. 高密封、高防护
   • 精密弹性密封 + 锁扣结构，防尘、防水、防水汽渗透；垂直卡槽设计，防碰撞、防划伤。
4. 自动化兼容
   • 底部 / 侧面标准定位槽，适配 150mm 晶圆自动化设备、AGV、机械臂抓取信越ポリマー株式会社。
5. 坚固耐用、可循环
   • 一体式结构抗冲击、抗变形；可清洗、干燥、重复使用，降低成本信越ポリマー株式会社。

四、主要用途

• 150mm 晶圆厂间转运、出货运输（FAB → 封测 / 客户）信越ポリマー株式会社
• 洁净环境下短期储存 / 暂存信越ポリマー株式会社

五、MW150N 与 MW150M 区别（快速参考）

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