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產品名稱:
顯微分光膜厚儀
產品型號:
產品展商:
OTSUKA大冢光學
簡單介紹
膜厚測量中必要的功能集中于頭部。
通過顯微分光高精度測量**反射率（多層膜厚、光學常數）。
1點只需不到1秒的高速tact。
實現了顯微下廣測量波長范圍的光學系（紫外～近紅外）。
通過區域傳感器控制的**構造。
搭載可私人定制測量順序的強大功能。
即便是沒有經驗的人也可輕松解析光學常數。
各種私人定制對應（固定平臺，有嵌入式測試頭式樣）。
顯微分光膜厚儀的詳細介紹
產品特點
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膜厚測量中必要的功能集中于頭部。
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通過顯微分光高精度測量**反射率（多層膜厚、光學常數）。
-
1點只需不到1秒的高速tact。
-
實現了顯微下廣測量波長范圍的光學系（紫外～近紅外）。
-
通過區域傳感器控制的**構造。
-
搭載可私人定制測量順序的強大功能。
-
即便是沒有經驗的人也可輕松解析光學常數。
-
各種私人定制對應（固定平臺，有嵌入式測試頭式樣）。
量測項目
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**反射率測量
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膜厚解析
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折射率n、消光系數解析k
產品規格
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型號
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OP-A1
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OP-A2
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OP-A3
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波長范圍 wavelength Range
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230～800nm
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360～1100nm
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900～1600nm
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膜厚范圍 Film Thickness Range
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1nm～35μm
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7nm～49μm
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16nm～92μm
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樣品尺寸Sample Sizes
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Max. 200mm×200mm×17mm
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點徑Spot Sizes
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φ 5μm（反射40倍鏡頭），改造后可達到3μm
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tact time Measurement Time
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１秒／1點
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尺寸 Sizes
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本體（W555×D537×H559mm）, 控制單元（W500×D180×H288mm）
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功用 Utilities
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750 VA
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*1上述式樣是帶有自動XY平臺。
*2 release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預定2016年9月。
*3 膜厚范圍是SiO2換算。
應用范圍
■ FPD
・LCD、TFT、OLED(有機EL)
■ 半導體、復合半導體
・矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料
■ 資料儲存
・DVD、磁頭薄膜、磁性材料
■ 光學材料
・濾光片、抗反射膜
■ 平面顯示器
・液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
■ 薄膜
・AR膜
■ 其它
・建筑用材料
量測范圍
玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質分析