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产品名称:
平面显示器(FPD)大尺寸样品专
产品型号:
cp-002
产品展商:
OTSUKA大冢光学
简单介绍
高精度量测各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案
平面显示器(FPD)大尺寸样品专的详细介绍
产品特点
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从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等，皆秉持一贯的品质自行完成。
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面对市场多元化的需求，以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务，提供*完善的膜厚解析方案。
量测项目
显示器面板膜厚分析设备FE series
解析面板显示器制程中持续进化的各种薄膜
高精度量测各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案。
用途
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LCD
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ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass
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TFT
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SiN/a-Si/Glass
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OLED
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OLED/ITO/Glass
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PDP
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诱电体层/Glass
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半导体膜厚分析设备FE series
对应φ300mm晶圆的全自动搬送系统
可搭配各种Load/Unload搬送规格，从R&D到生产线皆可灵活运用的膜厚解析系统。1枚样品中，量测5个点位仅需30秒以下的高速膜厚评价。
用途
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Si半导体晶圆膜
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SiO2/Si、Resist/Si、SiO2/a-Si、SiO2/SiN/SiO2
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半导体膜
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TEOS、SiNX、SiOx等
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化合物半导体
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GaAs、GaN、InGaAs等
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其它
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光学材料、诱导体材料、金属膜等
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