如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱:
平面顯示器(FPD)大尺寸樣品專
產品型號:
cp-002
產品展商:
OTSUKA大冢光學
簡單介紹
高精度量測各種玻璃基板上的多層膜及光學常數。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有機EL)等制程所需的膜層解析皆有完整的解決方案
平面顯示器(FPD)大尺寸樣品專的詳細介紹
產品特點
-
從規劃設計、開發制造、到現場安裝調整及教學支援等，皆秉持一貫的品質自行完成。
-
面對市場多元化的需求，以優異的技術、豐富的實績、安心的售后服務，提供*完善的膜厚解析方案。
量測項目
顯示器面板膜厚分析設備FE series
解析面板顯示器制程中持續進化的各種薄膜
高精度量測各種玻璃基板上的多層膜及光學常數。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有機EL)等制程所需的膜層解析皆有完整的解決方案。
用途
|
LCD
|
ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass
|
|
TFT
|
SiN/a-Si/Glass
|
|
OLED
|
OLED/ITO/Glass
|
|
PDP
|
誘電體層/Glass
|
半導體膜厚分析設備FE series
對應φ300mm晶圓的全自動搬送系統
可搭配各種Load/Unload搬送規格，從R&D到生產線皆可靈活運用的膜厚解析系統。1枚樣品中，量測5個點位僅需30秒以下的高速膜厚評價。
用途
|
Si半導體晶圓膜
|
SiO2/Si、Resist/Si、SiO2/a-Si、SiO2/SiN/SiO2
|
|
半導體膜
|
TEOS、SiNX、SiOx等
|
|
化合物半導體
|
GaAs、GaN、InGaAs等
|
|
其它
|
光學材料、誘導體材料、金屬膜等
|